1. Station de nettoyage des échantillons
Marque : SPM
Eléments intégrés et caractéristiques
- Un bac de nettoyage à H2SO4 96% chauffé jusqu’à 120°C ;
- Un bac de nettoyage à (HCl 37% +HNO3 69%) à T ambiante ;
- Un bac de nettoyage à HF 1-10% à T ambiante ;
- Un bac pour rinçage, une cascade, un pistolet pour azote gazeux et un pistolet pour EDI ;
- Mode de fonctionnement : Auto/Manuel.

2. Station de gravure
Marque : SPM
Eléments intégrés et caractéristiques
- Bac de gravure à KOH : 1-20% ;
- Bac de gravure d’aluminium ;
- Bac de gravure à BHF 1-10% ;
- Un bac pour rinçage, une cascade, un pistolet pour azote gazeux et un pistolet pour EDI ;
- Mode de fonctionnement : Auto/Manuel.
3. Station de nettoyage de la verrerie
Marque : SPM
Eléments intégrés et caractéristiques
- Bac de nettoyage des tubes (tube du four pour oxydation et diffusion) ;
- Bac de rinçage de la verrerie ;
- Bac de nettoyage de la verrerie ;
- Mode de fonctionnement : Automatique.