HOME / SALLE BLANCHE /

Techniques de caractérisation

1. Sonde quatre pointe (mesure de la résistivité et de la résistance carrée)

 

Marque : A.I.T. Co., LTD

Modèle : CMT-SR2000N

Eléments intégrés et caractéristiques

  • Type sonde : 4 pointes en ligne ;
  • PC avec logiciel de pilotage ;
  • Pompe à vide ;
  • Gamme mesure résistance carrée :
    • 1mΩ/sq – 2MΩ/sq
  • Gamme mesure résistivité :
    • 10µ. Ω.cm – 200 kΩ.cm
  • Gamme source de courant : 10 nA – 100 mA ;
  • Précision mesure : ±0.5% (VLSI standard wafer, à T=23°C) ;
  • Reproductibilité des mesures (2s) : ±0.15% ;
  • Temps de mesure : 3±1s/point ;
  • Dimension échantillon : 200 mm (8inch) ;
  • Modes de mesure : Manuel et semi-automatique ;
  • Logiciel d’exploitation : Data Map, Contour map, 3-D map, …).

CMT-SR2000n

 

2. Ellipsomètre spectroscopique

 

Fabricant : Angstrom Advanced

Modèle: PHE 103

Eléments intégrés et caractéristiques

  • Ellipsomètre ;
  • Boîtier de commande (y compris monochromètre) ;
  • Boîte de contrôle de puissance ;
  • Pompe à vide ;
  • PC avec software de mesure et d’exploitation des résultats ;
  • Gamme Spectre : 250 -2100 nm ;
  • Types mesures : épaisseur couches, indice de réfraction, constante diélectrique, coefficient d’extinction, … ;
  • Plage de mesure d'épaisseur des films transparents : 0-30µm ;
  • Plage de mesure d'épaisseur des films absorbants : 0-30µm ;
  • Erreur sur l’indice de réfraction : ± 0.0001 ;
  • Erreur sur la mesure d’épaisseur : ± 0.01nm ;
  • Plage de l’angle d’incidence (manuel ou automatique) : 20-90 ;
  • Pas angle de réflexion : 5° ± 0.01 ;
  • Taille du spot : Ellipse ~ 1 mm × 3mm ;
  •  Temps de mesure : 1 s ~ 2.0 minutes ;
  • Dimensions échantillon : jusqu'à 200 mm de diamètre ;
  • Plateau d'ajustement d'échantillons : Inclinaison et hauteur ;
  • Alignement échantillon : automatique.

PHE-103

3. Microscope Métallographique

 

Marque : Carl Zeiss

Type : Axioimager

Eléments intégrés et caractéristiques

  • Oculaire :W-PL 10x/23 Br. Foc ;
  • Objectif :  5 X /0.13 HD (a=17.1 mm) ;
  • Objectif :  10 X /0.20 HD (a=17.1 mm) ;
  • Objectif :  20 X /0.40 HD (a=2.8 mm) ;
  • Objectif :  50 X /0.70 HD (a=0.9 mm) ;
  • Objectif :  100 X /0.75 HD (a=0.95 mm) ;
  • Caméra : Canon, G10 ;
  • Affichage : Ecran LCD TFT P19_2, 19 inch (48 cm).

Axioimage