1. Four pour oxydation et dopage  

Marque: Thermco

Type: B/A XL

Eléments intégrés et caractéristiques

• Un tube pour oxydation (substrats jusqu’à 4’’) ;
• -Un tube pour dopage type n (substrats jusqu’à 4’’) ;
• -Un tube pour recuit (substrats jusqu’à 4’’) ;
• Puissance : 36 kW ;
• Courant : 55A ;
• Température max : 1300 °C.