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Technologie des couches minces

1. Evaporateur à canon à électrons

 

Marque: Moorfield

Type: Minilab 060

Model: E60A

Eléments intégrés et caractéristiques

  • Chambre : 388mmx388mmx382mm ;
  • Pompe primaire : Edward RV8 (8 m3/h) ;
  • Pompe secondaire : Leybold, Turbo moléculaire 360 l/s ;
  • Tourelle : 6 creusets de 4cc ;
  • Contrôleur du process dépôt : SQC 310 ;
  • Indexation des creusets : Indexation automatique à l’aide du CI-100 ;
  • Porte substrats : 1 plateau 8 substrats 3’’, 1 plateau 3 substrats 4’’ et 1 plateau petits échantillons ;
  • Vide limite : £ 8 10-7 mbar ;
  • Temps de pompage : de l’ordre de 30 min pour atteindre un vide de 5 10-6mbar ;
  • Puissance canon : 6kW ;
  • Haute Tension : 10 kV ;
  • Gamme courant source : 0 -500 mA (600 mA max) ;
  • Qualité couche déposé : Homogénéité»±3%,      stabilité »0,2 Å/s ;
  • Alimentation électrique : 380/50Hz/3P.

EvaporateurE60A

2. Pulvérisateur Cathodique

 

Marque: Moorfield

Type: Minilab 060

Model: E60A

Eléments intégrés et caractéristiques

  • Chambre : 388mmx388mmx382mm ;
  • Pompe primaire : Edward RV8 (8 m3/h) ;
  • Pompe secondaire : Leybold, Turbo moléculaire 360 l/s ;
  • Deux têtes RF magnétron 2’’ ;
  • Une tête DC magnétron ;
  • Contrôleur du process dépôt : SQC 310 ;
  • Plateau porte échantillon ;
  • Vide limite : £ 8 10-7 mbar ;
  • Temps de pompage : de l’ordre de 30 min pour atteindre un vide de 5 10-6mbar ;
  • Puissance : RF : 600 W max, DC : 1700 W max ;
  • Qualité couche déposé : Homogénéité»±3%,      stabilité »0,2 Å/s .

PulvérisateurE60A

 

3. Spin Coater

 

Marque: MTI

Type: VTC-100

Eléments intégrés et caractéristiques

  • Ensemble de 3 chucks en PP (1’’, 2’’ et 4’’) conçu pour un dépôt facile et rapide par sol-gel sur des substrats jusqu'à 4" ;
  • Un chuck avec trois ventouses de différentes tailles (10 mm, 12 mm et 19 mm) pour les petits substrats et les substrats carrés ;
  • Panneau de commande numérique avec DEUX segments programmables pour différents temps et vitesses de rotation :
    • Vitesse de rotation : 500-8000 tr / min
    • Temps de rotation : 1 - 60s

VTC-100

4. Evaporateur thermique

 

Marque :  BALZERS

Type : BA 360 M

Série : 662

Eléments intégrés et caractéristiques

  • 2 sources ;
  • Puissance : 4.5 kW ;
  • Vide limite: » 10-7 torr.

BA 360 M